Ion/Electron Temperature 플라즈마 진단 공부중 질문
2022.07.08 16:13
안녕하세요. 플라즈마 장비 엔지니어입니다.
광학적 (OES) 플라즈마 진단을 공부하는 도중
PAL에서 학위를 받으신 박사님의 자료를 보게되었는데 질문사항이 생겨 글남기게 되었습니다.
Particle Balance Equation 이라고 해서 아래와 같은데요,
n1 = n0 - n1s2 - n1s3 - n1s4 - n1s5 - ne
n1 = Ground State Density
n0 = Total Gas Density
n1sx = Ar 4s
ne = Electron Density
1. 여기서 n1과 n0는 모두 이상기체방정식으로 구하는게 맞나요 ?? (n=P/kT)
2. 혹시 맞다면 방전이 Off일때 기체온도, On일때 기체온도의 차이로 인해 구분될 수 있는건가요 ?
- Off일때 기체온도가 낮아서 n0 값이 큼
- On일때 기체온도가 높아서 ng 값이 작음
항상 좋은정보 감사드립니다~~
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] | 5816 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17258 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 53093 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 64492 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 85106 |
| 25 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 453 |
| 24 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 431 |
| 23 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 423 |
| 22 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 397 |
| 21 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 392 |
| 20 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 388 |
| 19 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] | 383 |
| 18 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 370 |
| » | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 354 |
| 16 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 351 |
| 15 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 345 |
| 14 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 329 |
| 13 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
 | 327 |
| 12 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 324 |
| 11 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1] | 315 |
| 10 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 311 |
| 9 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 304 |
| 8 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 258 |
| 7 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 247 |
| 6 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 234 |