Collision MFP에 대해서..
2012.04.12 08:57
안녕하세요 조성운입니다.
plasma 내 존재하는 particle의 반경과 압력을 알때 MFP는 1/ nr(n 밀도, r 충돌 단면적)로 계산할 수 있다고 합니다.
플라즈마에 존재하는 다양한 radicals의 MFP를 계산하기 위해서는 모든 종의 충돌 단면적을 알아야 가능한데,
혹시 F, CF, CF2, CF3 의 충돌단면적을 알 수 있는 방법이 없을까요??
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20847 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93632 |
179 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13451 |
178 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12859 |
177 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12390 |
176 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11572 |
175 | DC bias (Self bias) [3] | 11424 |
174 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10420 |
173 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9562 |
172 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9324 |
171 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9125 |
170 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 9064 |
169 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8961 |
168 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8884 |
167 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8603 |
166 | 핵융합에 대하여 | 8572 |
165 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8150 |
» | MFP에 대해서.. [1] | 7870 |
163 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6556 |
162 | O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] | 6505 |
161 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6494 |
160 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6476 |