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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65730
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88 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1313
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83 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1249
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80 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1109
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78 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1078
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74 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1023
73 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1002
72 Group Delay 문의드립니다. [1] 995
71 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 995
70 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 993
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