Remote Plasma RPSC 관련 질문입니다.
2016.07.18 19:13
안녕하세요
Remote Plasma Source Cleaning 에 대해 질문이 있습니다.
PECVD Chamber Cleaning을 위해 RPSC를 사용한다고 알고 있습니다.
Plasma를 챔버안에서 안터트리고 외부에서 만들어서 챔버 데미지를 안입힌다고 하는데 그 개념이 잘 이해가 안됩니다.
그럼 RPSC에서 터트리면 RPSC도 데미지를 입게되나요?
아니면 유도 전기장을 이용해서 데미지가 적은것인가요?
또한 직접 Chamber 에서 플라즈마 터트려 Cleaning 하는 것보다 Cleaning 주기도 길다고 하는데요.
그 이유도 궁금하네요.
답변 부탁드릴게요 ㅜㅜ
감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76729 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20192 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92279 |
119 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16036 |
118 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15919 |
117 | In-flight plasma process | 15504 |
116 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14458 |
115 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
114 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11327 |
113 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10354 |
112 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9842 |
111 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9666 |
110 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9636 |
109 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
108 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8618 |
107 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8572 |
106 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
105 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7649 |
104 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6648 |
103 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
102 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6365 |
101 | 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] | 5997 |
100 | CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] | 4932 |