Remote Plasma RPSC 관련 질문입니다.

2016.07.18 19:13

인선니아 조회 수:3183

안녕하세요

Remote Plasma Source Cleaning 에 대해 질문이 있습니다.


PECVD Chamber Cleaning을 위해 RPSC를 사용한다고 알고 있습니다.


Plasma를 챔버안에서 안터트리고 외부에서 만들어서 챔버 데미지를 안입힌다고 하는데 그 개념이 잘 이해가 안됩니다.

그럼 RPSC에서 터트리면 RPSC도 데미지를 입게되나요?

아니면 유도 전기장을 이용해서 데미지가 적은것인가요?


또한 직접 Chamber 에서 플라즈마 터트려 Cleaning 하는 것보다 Cleaning 주기도 길다고 하는데요.

그 이유도 궁금하네요.


답변 부탁드릴게요 ㅜㅜ


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5833
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17290
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53125
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64508
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85119
99 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 15862
98 ICP TORCH의 냉각방법 15804
97 In-flight plasma process 15414
96 냉각수에 의한 Power Leak 14367
95 remote plasma 데미지 질문 [1] 12578
94 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 9951
93 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9634
92 대기압 플라즈마에 대해서 9435
91 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9378
90 수중플라즈마에 대해 [1] 8391
89 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8369
88 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8331
87 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7925
86 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7370
85 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 7273
84 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6330
83 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6224
82 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6109
81 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 4970
» RPSC 관련 질문입니다. [2] 3183

Boards


XE Login