번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5610
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51349
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64213
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84233
37 Plasma Generator 관련해서요. [1] 767
36 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 757
35 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 747
34 plasma 형성 관계 [1] 743
33 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 729
32 플라즈마 챔버 [2] 714
31 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 700
30 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 692
29 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 689
28 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 676
27 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 657
26 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 650
25 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 594
24 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 565
23 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 556
22 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 520
21 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 515
20 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 515
19 anode sheath 질문드립니다. [1] 514
18 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 489

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