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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20076 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1] | 1204 |
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Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 1193 |
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RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
[1] | 1176 |
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산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다.
[1] | 1143 |
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공정플라즈마
[1] | 1136 |
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RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] | 1122 |
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Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다.
[1] | 1119 |
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PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활
[1] | 1113 |
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HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의
[1] | 1043 |
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리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
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전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스)
[1] | 1025 |
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CCP Plasma 해석 관련 문의
[1] | 972 |
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Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록)
[1] | 966 |
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anode sheath 질문드립니다.
[1] | 959 |
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CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응
[1] | 948 |
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플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다.
[1] | 911 |
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Plasma Generator 관련해서요.
[1] | 905 |
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RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 850 |
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PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다.
[1] | 840 |
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ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다.
[1] | 825 |