Others Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다.
2023.10.19 19:41
안녕하십니까
플라즈마 장비 관련하여 공부하던 중 아킹 관련하여 궁금증이 생겨 문의드립니다.
혹시 웨이퍼를 잡아주는 엣지링이나 전극의 소재 특성을 바꾸어 주어 방전 효과를 준다면 아킹을 줄일 수 있을지 문의드립니다.
추가로 엣지링의 전도도와 같은 특성을 변경한다면 쉬스 영역에 변화가 생길지도 문의드립니다.
( 전도도가 높을 때와 낮을 때 쉬스의 변화가 있는지 궁금합니다.)
아직은 지식이 많이 부족한 상태입니다. 많은 도움 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76848 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20256 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68745 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92606 |
101 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 144572 |
100 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54930 |
99 | RF frequency와 RF power 구분 | 39078 |
98 | 플라즈마 밀도 | 30003 |
97 | 플라즈마의 정의 | 29479 |
96 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29402 |
95 | 반도체 관련 질문입니다. | 28580 |
94 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28369 |
93 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. | 23452 |
92 | manetically enhanced plasmas | 21661 |
91 | 플라즈마 실험 | 21348 |
90 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21333 |
89 | 플라즈마란? | 21060 |
88 | 교재구입 | 20725 |
87 | 형광등과 플라즈마 | 20255 |
86 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20011 |
85 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19659 |
84 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19551 |
83 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19357 |