Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.
2020.07.30 19:43
안녕하세요
재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.
약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데
그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.
Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....
O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.
O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.
그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?
작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.
무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76664 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20149 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57149 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68669 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92157 |
783 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 144400 |
782 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134441 |
781 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 95584 |
780 | Plasma source type | 79644 |
779 | Silent Discharge | 64557 |
778 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54864 |
777 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47797 |
776 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43689 |
775 | 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. | 41218 |
774 | 대기압 플라즈마 | 40701 |
773 | Ground에 대하여 | 39373 |
772 | RF frequency와 RF power 구분 | 39059 |
771 | Self Bias | 36379 |
770 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35885 |
769 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34939 |
768 | PEALD관련 질문 [1] | 32611 |