Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의

2014.07.10 20:00

ㅇㅇ 조회 수:1951

안녕하세요

다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ

혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?

만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76774
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20224
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68721
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92386
491 MFP에 대해서.. [1] 7826
490 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7704
489 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7655
488 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7622
487 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7237
486 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7092
485 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6651
484 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6604
483 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
482 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
481 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6494
480 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6478
479 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6465
478 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6438
477 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6418
476 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6418
475 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
474 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6365
473 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6276
472 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6258

Boards


XE Login