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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[272]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20240 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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412 |
HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 2901 |
411 |
VI sensor를 활용한 진단 방법
[2] | 2880 |
410 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
| 2878 |
409 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2824 |
408 |
고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 2815 |
407 |
임피던스 매칭회로
[1] | 2812 |
406 |
PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
[1] | 2779 |
405 |
[Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련]
[3] | 2772 |
404 |
플라즈마 압력에 대하여
[1] | 2728 |
403 |
PR wafer seasoning
[1] | 2704 |
402 |
플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
[1] | 2688 |
401 |
수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2652 |
400 |
RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 2642 |
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산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
[1] | 2590 |
398 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2583 |
397 |
질문있습니다.
[1] | 2574 |
396 |
Si Wafer Broken
[2] | 2524 |
395 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2501 |
394 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2482 |
393 |
[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
[1] | 2463 |