안녕하세요 저는 전기공학을 전공하고있는 학부생입니다.(물론 서울대 학생이 아닙니다)

플라즈마공학 수업을 듣던중 궁금한것이 있어 이렇게 질문을 드립니다.

제가 이번에 간단한 플라즈마 DC 방전관을 설계하게 되었는데 음극의 2차전자계수가 필요한데 여러가지 검색이나 많은 경로로 찾아보았지만 아무래도 전문적인 것이라 쉽게 찾아볼수가 없어서 이렇게 감히 무례를 무릅쓰고 질문을 드립니다.


음극에는 어떠한 물질(어떤 금속이나 도체가 쓰이는지)와 그 물질의 2차전자계수를 알수있는 자료나 사이트등을 알 수 있는지 궁금합니다! 


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76751
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92313
390 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2440
389 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2433
388 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2399
387 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2385
386 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2360
385 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2343
384 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2335
383 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2329
382 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2327
381 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2324
380 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2321
379 Wafer particle 성분 분석 [1] 2321
378 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2318
377 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2318
376 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2317
375 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2316
374 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2315
373 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2307
372 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2281
371 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2270

Boards


XE Login