Others 석영이 사용되는 이유?

2010.04.16 19:26

최영익 조회 수:20024 추천:151

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.

plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?

플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나

안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데

석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76734
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20204
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
249 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1177
248 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1174
247 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1169
246 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1164
245 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1157
244 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1157
243 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1156
242 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1156
241 공정플라즈마 [1] 1145
240 Group Delay 문의드립니다. [1] 1144
239 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1141
238 자기 거울에 관하여 1139
237 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1132
236 전자 온도 구하기 [1] file 1131
235 wafer bias [1] 1129
234 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1121
233 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1118
232 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1117
231 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1113
230 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1113

Boards


XE Login