Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.

2012.09.07 03:25

ysppaku 조회 수:54919

안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.

플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.

질문

1.VPP가 어떤건지?

2.VDC가 어떤건지?

3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?

위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.

참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.

정말 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [272] 76806
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20240
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57185
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92563
132 plasma 공정 중 색변화 [1] 620
131 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 619
130 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 615
129 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 614
128 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 612
127 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 611
126 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 610
125 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 607
124 RF Sputtering Target Issue [2] file 606
123 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 599
122 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 597
121 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 597
120 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 594
119 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 591
118 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 587
117 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
116 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
115 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 580
114 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 577
113 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
쓰기
태그

Boards

XE Login