Plasma in general ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation]

2024.07.26 16:47

Jasper 조회 수:388

안녕하세요.

 

계속 눈팅만 하고 있다가 처음으로 글을 쓰게 된 초자엔지니어 입니다.

 

계시판 글을 읽는데도 플라즈마 공부에 많은 도움이 되는 거 같습니다.

 

질문의 내용은

 

일반적으로 논문에 ICP Plasma는 Metal 박막, Poly-Si 박막에 적합하고 CCP Plasma는 SiO2 및 SiN 박막에 적합하다고 되어 있습니다.

 

CCP Plasma는 ICP Plasma 보다 Ion energy 높아 Ion bambard로 결합력이 강한 SiO2, SiN을 쉽게 식각을 할 수 있다고 생각이 됩니다.

 

그렇다면, CCP Plasma로 식각 공정을 만들어서 Metal 박막 혹은 Poly-Si 박막도 쉽게 Etching을 할 수 있지 않을까요?

 

굳이 Hardware 구조가 복잡한 ICP Plasma로 Metal 박막 혹은 Poly-Si 박막을 Etching 하는지 궁금합니다.

 

여러가지 도움을 준 교수님께 감사드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82702
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21975
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58756
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70388
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96322
20 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 392
19 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 389
18 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 389
» ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 388
16 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 321
15 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 316
14 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 308
13 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 299
12 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 256
11 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 251
10 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 245
9 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 244
8 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 241
7 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 232
6 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 226
5 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 218
4 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 205
3 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 202
2 Druyvesteyn Distribution 138
1 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 73
쓰기
태그

Boards

XE Login