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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
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96 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3669
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86 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2304
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84 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2262
83 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2222
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81 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1941
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