번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76408
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
53 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1169
52 플라즈마 챔버 [2] 1158
51 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1157
50 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1127
49 공정플라즈마 [1] 1110
48 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1089
47 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1070
46 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1056
45 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1029
44 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1027
43 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 987
42 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 947
41 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 945
40 anode sheath 질문드립니다. [1] 936
39 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 922
38 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 903
37 Plasma Generator 관련해서요. [1] 899
36 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 837
35 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 831
34 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 806

Boards


XE Login