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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64498
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39 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 809
38 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 802
37 Plasma Generator 관련해서요. [1] 791
36 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 781
35 플라즈마 챔버 [2] 778
34 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 759
33 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 745
32 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 743
31 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 734
30 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 698
29 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 698
28 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 665
27 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 607
26 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 587
25 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 573
24 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 569
23 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 561
22 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 560
21 anode sheath 질문드립니다. [1] 554
20 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 498
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