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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73155
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105319
33 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 796
32 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"] [1] 784
31 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 784
30 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 780
29 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 733
28 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder] [1] 730
27 챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP] [1] 711
26 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 680
25 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 676
24 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field] [1] 643
23 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 631
22 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 630
21 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정] [2] file 588
20 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 557
19 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 555
18 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 551
17 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 538
16 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 533
15 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 471
14 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 466
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