번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] 77284
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20486
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57404
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68931
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92985
32 ICP 플라즈마에 관해서 [2] 32073
31 플라즈마가 불안정한대요.. 24536
30 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24396
29 No. of antenna coil turns for ICP 23145
28 플라즈마의 발생과 ICP 22171
27 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21788
26 ccp-icp 21587
25 F/S (Faraday Shield) file 21546
24 ICP TORCH의 냉각방법 15923
23 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3884
22 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2507
21 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2416
20 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2416
19 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2375
18 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 2008
17 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1916
16 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1692
15 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1686
14 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1655
13 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1550

Boards


XE Login