Deposition [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속]

2019.01.23 13:10

반형진 조회 수:1392

안녕하세요.

CVD공정쪽에서 일하고 있는 엔지니어 반형진입니다.

a-Si 증착 시 Vdc값이 증착된 막 내의 수소량에 어떻게

영향을 미치는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.

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