Others analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리]

2017.03.07 16:14

kimsh92y 조회 수:875

안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.

 

pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side와 bottom에 달았습니다.

 

여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82700
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21975
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58756
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70388
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96319
184 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지] [2] 870
183 새집 증후군 없애는 플러스미- 플라즈마에 대해서 [광운대 플라즈마바이오연구센터] [1] 869
182 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 864
181 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density] [1] 864
180 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 863
179 Plasma 표면 개질에 대해 질문드립니다. [O2 플라즈마와 Ar 플라즈마] [1] 859
178 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 859
177 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 848
176 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 846
175 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 837
174 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 836
173 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 835
172 ICP 대기압 플라즈마 분석 [Collisional plasma, LTE 모델] [1] 834
171 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 832
170 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 828
169 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 823
168 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 817
167 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 809
166 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 808
165 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 802
쓰기
태그

Boards

XE Login