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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
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타겟 임피던스 값과 균일도 문제
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Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요?
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반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할.
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plasma modeling 관련 질문
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ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
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Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정
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AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제
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공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다.
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N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문
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PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다.
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ISD OES파형 관련하여 질문드립니다.
[1] | 262 |
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텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량
[1] | 257 |
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RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다.
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Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계
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E-field plasma simulation correlating with film growth profile
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애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다.
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안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다.
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chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의
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주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가
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