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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다.
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RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability]
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H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field]
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공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해]
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2
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텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning]
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RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise]
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RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield]
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산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
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micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장]
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Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화]
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plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장]
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gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제]
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안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching]
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RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화
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Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]
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RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral]
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RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트]
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E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포]
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plasma modeling 관련 질문 [Balance equation]
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