번호 | 제목 | 조회 수 |
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공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76743 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20213 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92299 |
6 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13202 |
5 | PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] | 2314 |
4 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1460 |
3 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 626 |
2 | PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] | 332 |
1 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 24 |