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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68739
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755 플라즈마 온도 27801
754 DBD란 27732
753 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27636
752 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27215
751 이온과 라디칼의 농도 file 27007
750 self bias (rf 전압 강하) 26724
749 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26480
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746 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 26166
745 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25585
744 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24987
743 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24884
742 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24871
741 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24774
740 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24758
739 plasma와 arc의 차이는? 24720
738 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24663
737 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24601
736 플라즈마가 불안정한대요.. 24519

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