Chamber Impedance 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련

2010.05.05 13:56

강철호 조회 수:27226 추천:167

안녕하십니까?
저는 RF관련한 챔버,매칭박스,제네레이터 관련한 업무를 시작하게된 강철호라고 합니다,
공정 진행중 여러가지 원인에 의한 챔버의 임피던스 변화를 RF 제네레이터와 매칭 시키기 위해 매칭 박스를
이용한는 것으로 알고 있습니다..
여기서 질문입니다.
챔버의 임피던스가 변한다는것이  임피던스가 증가하는것인지,감소하는 것인지, 또는 2가지 경우가  랜덤하게
진행 되는 것인지 궁굼합니다..
만약 임피던스가 증가한다면 매칭박스가 어떤 원리로 매칭박스+챔버의 임피던스를 50Ω 으로 매칭할수 있는지
모르겠습니다.
너무 기초적인 지식이 없어 열심히 공부하려고 하니  성의 있는 답변 부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77061
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20379
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57290
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68836
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92838
761 플라즈마 온도 27828
760 DBD란 27761
759 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27655
» 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27226
757 이온과 라디칼의 농도 file 27031
756 self bias (rf 전압 강하) 26759
755 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26499
754 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 26246
753 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26229
752 충돌단면적에 관하여 [2] 26197
751 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25590
750 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24994
749 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24901
748 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24894
747 plasma와 arc의 차이는? 24795
746 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24782
745 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24774
744 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24682
743 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24634
742 플라즈마가 불안정한대요.. 24529

Boards


XE Login