Others Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]

2023.10.19 19:41

ejd420 조회 수:375

안녕하십니까 

플라즈마 장비 관련하여 공부하던 중 아킹 관련하여 궁금증이 생겨 문의드립니다.

 

혹시 웨이퍼를 잡아주는 엣지링이나 전극의 소재 특성을 바꾸어 주어 방전 효과를 준다면 아킹을 줄일 수 있을지 문의드립니다. 

 

추가로 엣지링의 전도도와 같은 특성을 변경한다면 쉬스 영역에 변화가 생길지도 문의드립니다.

( 전도도가 높을 때와 낮을 때 쉬스의 변화가 있는지 궁금합니다.)

 

아직은 지식이 많이 부족한 상태입니다. 많은 도움 부탁드립니다. 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79715
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21376
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69749
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94683
40 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전] [1] 566
39 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 550
38 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 548
37 Floride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [Sputter setup 및 구동 원리] [1] 545
36 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 532
35 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 530
34 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 529
33 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 522
32 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 520
31 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 503
30 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [공정 조절과 CF4 계열 플라즈마] [1] 494
29 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 491
28 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 450
27 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 445
26 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 440
25 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 434
24 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 403
23 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 400
22 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 388
21 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 381
쓰기
태그

Boards

XE Login