안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77267
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20480
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57386
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68919
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92967
98 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1275
97 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1258
96 전자 온도 구하기 [1] file 1183
95 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1180
94 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1180
93 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1175
92 wafer bias [1] 1162
91 Group Delay 문의드립니다. [1] 1161
90 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1156
89 자기 거울에 관하여 1152
88 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1123
87 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1069
86 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1061
85 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1059
84 플라즈마 코팅 [1] 1048
83 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1029
82 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1011
81 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 994
80 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 990
79 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 987

Boards


XE Login