CCP 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련

2020.01.02 18:46

베컴 조회 수:20049

안녕하십니까?


이전에 에쳐장비 관련 장비메이져 회사에서 근무한 경험이 있습니다.


그당시, 에쳐장비에서 HF/LF가 RF가 인가가 되는데,

그라운드 링이라는 하드웨어가 상부전극 주위 즉 Deposhield윗 공간에 존재를 하였습니다.


에쳐장비에서 RF관련 그라운드를 어떻게 잡는지가 궁금합니다.

(그라운드를 잡지않으면, 아킹이나 노이즈 등의 위험이 있다고 생각합니다.)


확인 및 답변 부탁드립니다.

새해 복 많이 받으시고, 행복한 한해 되십시오.

감사합니다.





번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102921
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24689
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61432
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73481
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105843
633 Plasma of Bio-Medical Application 18068
632 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 18055
631 플라즈마 응용분야 17977
630 capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant] 17962
629 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17958
628 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. 17904
627 충돌 17897
626 교육 기관 문의 17842
625 플라즈마와 자기장의 상호작용 [Magnetic Confinement] 17780
624 유전체 플라즈마 17719
623 불꽃이 쫒아오는 이유 17710
622 고온플라즈마와 저온플라즈마 [Collision과 Wall loss] 17614
621 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17604
620 Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] 17504
619 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17295
618 PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가] file 17240
617 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17232
616 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 [Plasma lamp] 17195
615 RF에 대하여,, [Pierson coil과 V-I probe] 17184
614 Light flower bulb 17173

Boards


XE Login