Others 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용
2004.06.19 16:42
만일 플라즈마의 on/off 상태를 알 고자 함이면 일반적인 CCD 카메라를 이용해서
감시할 수 있을 것이며 특별할 상태의 빛 파장대를 관찰하고자 한다면 이 주파수에
맞는 lenz와 filter등을 이용한 CCD를 사용하여야 합니다. 혹은 corona streamer
등을 측정하고자 한다면 수 mirosec의 변화를 관찰할 수 있는 intensified CCD를
사용하게 됩니다. 이때는 CCD의 time resolution이 문제가 되니 이점을 잘 고려
하여야 할 것입니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73027 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17616 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55516 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65696 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86027 |
| 486 | sputter | 16775 |
| 485 | Virtual Matchng | 16754 |
| 484 | ICP 식각에 대하여... | 16731 |
| 483 |
ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
 | 16655 |
| 482 | nodule의 형성원인 | 16604 |
| 481 | 몇가지 질문있습니다 | 16539 |
| 480 | 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] | 16319 |
| 479 | 궁금해서요 | 16288 |
| 478 | CCP 의 electrode 재질 혼동 | 16277 |
| 477 | 플라즈마의 어원 | 16255 |
| 476 | 궁금합니다 [1] | 16108 |
| 475 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 15998 |
| » | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 15984 |
| 473 | 역 수소폭탄에 대하여... | 15962 |
| 472 | k star | 15924 |
| 471 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 15873 |
| 470 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15823 |
| 469 | corona | 15810 |
| 468 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15776 |
| 467 | 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] | 15759 |