Sputtering 몇가지 질문있습니다
2009.11.10 20:51
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75020 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18862 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56341 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66848 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88322 |
499 | sputter | 16786 |
498 | Virtual Matchng | 16780 |
497 | ICP 식각에 대하여... | 16773 |
496 |
ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
![]() | 16705 |
495 | nodule의 형성원인 | 16631 |
» | 몇가지 질문있습니다 | 16550 |
493 | 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] | 16395 |
492 | CCP 의 electrode 재질 혼동 | 16329 |
491 | 궁금해서요 | 16295 |
490 | 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] | 16285 |
489 | 플라즈마의 어원 | 16279 |
488 | 궁금합니다 [1] | 16132 |
487 | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16010 |
486 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 16008 |
485 | 역 수소폭탄에 대하여... | 15981 |
484 | k star | 15936 |
483 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 15908 |
482 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15851 |
481 | corona | 15828 |
480 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15802 |