Plasma in general 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ?
2018.05.03 11:20
대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데,
관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20848 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93633 |
579 | corona | 15907 |
578 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15848 |
577 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15736 |
576 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15686 |
575 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15656 |
574 | 핵융합반응/플라즈마 | 15577 |
573 | In-flight plasma process | 15525 |
572 | 우주 플라즈마 | 15380 |
571 | 박막 형성 | 15308 |
570 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15189 |
569 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15082 |
568 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 15035 |
567 | 우주 플라즈마 | 14797 |
566 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14751 |
565 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14741 |
564 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14598 |
563 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14550 |
562 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14458 |
» | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14163 |
560 | 플라즈마의 상태 | 14107 |
우리 연구실 장비에서는 해당 가스 실험은 어렵습니다. 아쉽지만 반도체 공동 연구소 등 화공과 시설을 사용하여야 할 것 같군요.