ATM Plasma 대기압 플라즈마에 대해서

2004.06.19 16:40

관리자 조회 수:9437 추천:286

질문 :

대기압에서 DBD방식 EICP방식으로 플라즈마를 일으킨다고 하던데  이 원리에 대해서 설명좀 부탁드립니다

답변 :

황인욱님께

대답이 많이 늦어졌군요. 대답전에 EICP라고 하셨느데, 무엇의 약자인가요 ? 혹시 Enhanced ICP이면 그냥 ICP관련 서적을 읽으시면 되겠내요. 그리고 이전의 질문내용은 아마도 대답해야할 내용이 너무 많아서, 관라자가 이전 자료를 복구할 때까지 기다리셔야 할 것 같읍니다.

그럼 DBD에 관해서 간략하게 설명드리지요. DBD는 두개의 평판전극 사이에 절연체를 삽입하여 아크 방전을 억제하는 방식입니다. 절연체로는 유리, 세라믹판 등을 쓰고있으며, 절연체의 두께는 2mm 이하가 좋읍니다. 두개의 전극 사이는 절연체 포함 해서 5mm이내 이고 인가 전압은 60Hz ~ 50 kHz의 주파수로 약 10~ 35kV정도 입니다. 작동 압력은 대기압 수준입니다. 방전은 약 100 micormeter의 plasma 기둥을 이루면서 발생되는데, 이와같은 Plasma기둥을 Streamer라 하고, 때때로 Microdischarge라고도 합니다.  Streamer는 동시에 전극판 사이에 수 백개가 동시에 발생 합니다. 한 개 streamer의 duration은 약 10-100 ns이고 전자 밀도는 약 10^15 cm^-3, 전자온도는 2eV 이하 입니다.

DBD는 처음에 오존 발생장치로 개발되었고, 오늘날에도 많이 쓰입니다.  그 밖에 자외선 발생장치, 유해가스 제거, 자외선 발생장치, Excimer LASER 등에 사용되기도 합니다. 근래에는 PDP(Plasma Panel Display)에도 DBD가 이용됩니다.

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