ICP chamber 방식이며 Generator는 13.56MHz, 1.5kw두개를 사용할경우

matcher제작 or 분석을 하려는데 국내, 일본 회사에서는 불가능 할것 같다고 합니다.

미국의 AE, MKS를 제외하고 RF matcher나 Generator 방면에서 기술력을 갖고 있는

회사가 있을까요?

혹시 알고 계신곳이 있으면 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77200
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20461
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57359
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68898
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92944
546 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. 13212
545 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13079
544 반응기의 면적에 대한 질문 12816
543 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12786
542 ICP와 CCP의 차이 [3] 12580
541 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12371
540 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11659
539 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11563
538 플라즈마 살균 방식 [2] 11508
537 DC bias (Self bias) [3] 11346
536 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10563
535 RGA에 대해서 10557
534 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10400
533 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10396
» 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10337
531 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 10045
530 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9909
529 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9846
528 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9685
527 대기압 플라즈마에 대해서 9649

Boards


XE Login