Others N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
2022.05.12 00:29
안녕하세요. 반도체회사에서 PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.
GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.
1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
3. N2 / N2O 두 Gas의 Plasma 차이점
4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..
위 4개 질문드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76882 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20277 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57200 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68755 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92711 |
| 519 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9537 |
| 518 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9533 |
| 517 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9266 |
| 516 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9254 |
| 515 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9044 |
| 514 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 9003 |
| 513 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8929 |
| 512 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8756 |
| 511 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8740 |
| 510 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8708 |
| 509 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8621 |
| 508 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8620 |
| 507 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8582 |
| 506 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8581 |
| 505 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8580 |
| 504 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
| 503 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8139 |
| 502 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8126 |
| 501 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
| 500 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8054 |
저희는 질소 및 질화막 공정에 익숙하지 않아 답변이 궁색합니다.
관련해서 최근 N2 관련 플라즈마를 깊이 연구하고 있는 그룹이 있어 소개해 드립니다. 아마도 연락을 취하시면 도움을 받을 수 있을 것 같습니다.
한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화연구단 (Plasma E. I. Convergence Research Center): http://www.kfe.re.kr