안녕하세요. 고려대학교 김동석 입니다.

스퍼터링 장비 사용 중 학술적인 문의사항이 있어 질문 드립니다. 


1. DC sputtering 사용 중 power supply에 표시되는 DC bias는 막질에 어떤 영향을 주나요?

    공부가 부족하여 단순히 Sheath에서 걸리는 전위차라고만 알고 있는데... 

    DC bias가 증가하는 경우와 감소하는 경우 성막에 어떠한 차이를 유발하는지 궁금합니다.


2. RF sputtering 에는 DC bias가 존재하나요?

    RF 스퍼터링의 경우 sheath가 생성되지 않으면 DC bias가 존재하지 않을텐데, 장비에는 어떤(?) 의미인지 모를

    bias가 표시되더라구요.. -40V 이런 식으로 말입니다. 이게 어떠한 의미를 담고 있는지 궁금합니다.


3. Matching box의 Ground는 어떤 영향을 줄 수 있나요?

    RF system의 접지를 floating으로 한 경우와, earth 를 잡았을 경우 어떠한 차이점이 있는지 궁금합니다.

    지면접지를 잡아야 한다면 다른 장비들과 어떤 식으로 연결해야 하는지.. 궁금합니다.


여러 자료를 찾아가며 공부하던 중, 토론방에 글을 올려봅니다. 

다른 글들도 읽어보았는데, 제가 플라즈마 전공자가 아니라서 잘 이해가 가지 않았어요..

많이 배워가겠습니다. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4889
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16229
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63748
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83514
398 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8449
397 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8437
» RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8397
395 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 8391
394 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8324
393 수중플라즈마에 대해 [1] 8307
392 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8264
391 고온 플라즈마 관련 8020
390 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 7963
389 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7899
388 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7894
387 MFP에 대해서.. [1] 7608
386 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7564
385 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7520
384 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7269
383 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7123
382 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7003
381 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 6766
380 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6516
379 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6485

Boards


XE Login