Others 고온 플라즈마 관련

2012.06.04 11:49

몽돌 조회 수:8020

안녕하세요?

배가스의 SOx와 NOx 처리에 저온 플라즈마를 사용하는데 관련된 논문이 있었는데,

그 중에서 Radical 생성이 잘 되지 않아서 문제가 있는 것을 봤습니다.

혹시 고온 플라즈마를 사용하여 Radical 생성을 더 잘 생성시킬 수 있을까요?

만약 고온 플라즈마가 Radical을 더 잘 생성시킬 수 있다면 왜 지금까지 연구하신 분들이 모두 저온 플라즈마를 사용하는 방안을

연구하셨을까요? 거기에 다른 이유가 있나요?

빠른 답변이면 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4884
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16223
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51248
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83507
398 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8449
397 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8436
396 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8394
395 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 8359
394 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8324
393 수중플라즈마에 대해 [1] 8307
392 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8264
» 고온 플라즈마 관련 8020
390 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 7961
389 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7898
388 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7894
387 MFP에 대해서.. [1] 7608
386 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7564
385 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7519
384 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7265
383 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7121
382 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7001
381 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 6750
380 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6514
379 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6485

Boards


XE Login