안녕하세요, 김곤호 교수님.

저는 동일기연이라는 Ionizer 제조회사에 근무하고 있습니다.

Ionizer는 코로나 방전의 원리를 이용하여 양이온과 음이온을 발생시키고 그 이온을 대전물체에 전달시켜 정전기를 중화시키는 제품입니다.

최근 적용 공정 중에 일반 Air가 아닌 순수 N2(99.999%)에서의 Ionizer의 동작과 관련하여 난해한 문제가 생겨 이렇게 질문을 드립니다.

현재 일본 경쟁사 측에서 일반 Ionizer는 Air 환경 하에서는 양이온과 음이온이 평행을 이루며 나오지만,

순수 질소환경에서는 그 이온 발생이 평행을 이루지 못하며, 이상 방전을 한다는 주장을 하고 있습니다.

일본 경쟁사의 논리는 하기와 같습니다.

 

1. 전압 인가 시 음극에서 이상방전 발생[첨부 그림파일 참조 부탁드립니다. 1.JPG 파일]

     - +전압 인가에서는 Air와 N2 일때 전압과 전류의 차이가 크지 않으나, -전압 인가에서는 약 -3kV에서 전류가 급격하게 변함.

2. N2환경에서 일반 이오나이저 사용 시 이온 균형이 이상함.[첨부 그림파일 참조 부탁드립니다. 2.JPG 파일]

    - 일반 Air에서는 +이온과 -이온의 발생이 균형을 이루어 0V의 이온 밸런스를 나타냄.

    - N2 환경에서는 이온 밸런스가 -1400V ~ -1600V로 - 측으로 이온밸런스가 편향되는 것으로 나타남.

3. 주기율표 상에서 질소는 음이온이 되지 않음.

4. 질소 환경에서는 전자 Trap이 없어 전자가 빨리 움직일 수 있음.

 

상기의 경쟁사 주장에 대하여 확인할 자료나 논문을 찾아보았으나, 찾을 수가 없어 이렇게 교수님께 질의를 드리게 되었습니다.

상기 내용에 대하여 조언을 꼭 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4906
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16237
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83545
398 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8449
397 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8438
396 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 8399
395 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8397
394 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8325
393 수중플라즈마에 대해 [1] 8307
» N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8265
391 고온 플라즈마 관련 8020
390 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 7964
389 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7900
388 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7895
387 MFP에 대해서.. [1] 7608
386 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7564
385 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7521
384 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7274
383 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7124
382 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7005
381 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 6770
380 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6518
379 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6485

Boards


XE Login