안녕하세요?

제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다. 

http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou

위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.

감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102825
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24683
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61405
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73471
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105819
553 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9838
552 대기압 플라즈마에 대해서 9802
551 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9797
550 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9648
549 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9617
548 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9549
547 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9470
546 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 9426
545 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9337
544 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9201
543 수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상] [1] 9150
542 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 9051
541 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8944
540 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8830
539 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8749
538 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8639
537 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 8413
536 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘] [1] 8381
535 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8372
534 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 8297

Boards


XE Login