CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활
2016.12.15 13:35
안녕하세요?
제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다.
http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou
위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73074 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17640 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65724 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86101 |
427 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9171 |
426 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 8926 |
425 | 안녕하세요 교수님. [1] | 8743 |
424 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8610 |
423 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8581 |
422 | 핵융합에 대하여 | 8513 |
421 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8508 |
420 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8446 |
419 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8400 |
418 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1] ![]() | 8366 |
417 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8145 |
416 | 고온 플라즈마 관련 | 8046 |
415 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 7964 |
414 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 7956 |
413 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 7871 |
412 | MFP에 대해서.. [1] | 7696 |
411 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 7687 |
410 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 7600 |
409 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7599 |
408 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 7553 |
CCP 방전은 전극 사이에 플라즈마 유전체가 놓여 있는 형태로 방전이 전극의 전기장에 의해 유지되는장치 를 포괄적으로 지칭하는 말이라도 이해하시고, 전극의 재료와 방전조건에 따라서 유전체를 강조하는 유전체 격벽 방전(DBD;dielectric barrier discharge)가 있고, 공정용CCP 장치등이 있습니다. CCP와DBD는 여러차례 소개가 되었으니 게시판의 내용을 참고하시기 바랍니다.