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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66859
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379 플라즈마 색 관찰 [1] 3604
378 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3476
377 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3440
376 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3400
375 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3381
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373 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3363
372 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3304
371 ESC Cooling gas 관련 [1] 3222
370 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3218
369 Descum 관련 문의 사항. [1] 3192
368 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 3158
367 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3152
366 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3138
365 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3127
364 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3098
363 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3000
362 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2999
361 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2993
360 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2983

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