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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64212
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84189
351 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3093
350 플라즈마 색 관찰 [1] 3084
349 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3065
348 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3025
347 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 2989
346 ESC Cooling gas 관련 [1] 2937
345 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2916
344 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2904
343 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2888
342 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2877
341 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2799
340 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2721
339 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2709
338 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2683
337 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2677
336 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2673
335 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2662
334 Descum 관련 문의 사항. [1] 2603
333 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2564
332 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2549

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