번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76632
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20135
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57143
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68661
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92098
427 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3442
426 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3440
425 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3426
424 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3391
423 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3391
422 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3347
421 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3320
420 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3316
419 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3260
418 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3244
417 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3186
416 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3164
415 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3159
414 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3156
413 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3155
412 CVD 공정에서의 self bias [1] 3082
411 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3049
410 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2958
409 Plasma etcher particle 원인 [1] 2951
408 RF matcher와 particle 관계 [2] 2896

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