|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 48518 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 49109 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[1]
| 54810 |
|
515 |
RF에 대하여...
| 26412 |
|
514 |
플라즈마와 자기장의 관계
| 26347 |
|
513 |
탐침법
| 26260 |
|
512 |
플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항
| 26213 |
|
511 |
sheath와 debye shielding에 관하여
| 25861 |
|
510 |
ECR plasma 장비관련 질문입니다.
[2] | 25684 |
|
509 |
Arcing
[1] | 25548 |
|
508 |
이온과 라디칼의 농도
 | 25468 |
|
507 |
공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제...
[2] | 25256 |
|
506 |
플라즈마 챔버 의 임피던스 관련
[1] | 25140 |
|
505 |
DBD란
| 25020 |
|
504 |
대기압 플라즈마
| 24886 |
|
503 |
self bias (rf 전압 강하)
| 24712 |
|
502 |
VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.
[1] | 24616 |
|
501 |
충돌단면적에 관하여
[2] | 24607 |
|
500 |
Self Bias
| 24500 |
|
499 |
Ground에 대하여
| 24417 |
|
498 |
RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동
[1] | 24245 |
|
497 |
PECVD 매칭시 Reflect Power 증가
[2] | 24126 |
|
496 |
dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐
[3] | 24032 |
