Others AP plasma 공정 관련 문의
2023.12.21 09:20
안녕하세요 플라즈마 업체 쪽에서 근무하고 있는 황보람입니다.
당사 내에서 전극에 N2+Air를 사용중이며, 샘플을 평가할 때 성능이 좋은 편인데
현장에 납품하면 갑자기 성능이 당사에서 봤던 성능이 안 나옵니다..
Gas 순도나 공정환경의 온도 및 습도까지 동일하게 해봤는데도 동일 시 안 나오는데 원인에 대한 부분이 뭐가 있을까요..?
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문제의 원인을 잘 모르겠습니다만, Air 가 가장 걸립니다. Air 자체가 혼합가스로 변인의 원인이 됩니다. 공정 관리를 위해서 Air를 대체할 방법을 찾아 보시면 좋을 것 같은데, 해당 공정에서 가능한 솔루션인지 모르겠습니다. 다음으로는 시편의 전처리 과정입니다. 이점은 물론 잘 제어되었되었을 것으로 기대하지만, 혹여 시편 상태에도 신경을 써 보시기 바랍니다.
아울러 Tool match를 위해서는 회사에서 어떤 데이터도 좋으니, 생성된 N2+Air의 분광스펙트럼 등의 플라즈마 정보를 구할 수 있는 데이터를 얻어서 이를 기반으로 변화 여부를 판단하시면 좋습니다. 복합가스 플라즈마이므로 분광 신호를 관찰할 수 있어야 장비 상태에 대한 기준을 마련하실 수 있으니, OES 등의 분광스펙트럼 데이터, 저희는 장비 플라즈마 데이터라 하는데, 이 DB 확보해서 어떤 변화가 있는가를 확인할 수 있으면 좋을 것 같습니다.