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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
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395 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2777
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390 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2687
389 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2660
388 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2596
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386 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2572
385 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2567
384 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2566
383 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2545
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380 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2440
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