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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68529
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393 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2825
392 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2818
391 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2769
390 임피던스 매칭회로 [1] file 2756
389 RF matcher와 particle 관계 [2] 2751
388 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2711
387 PR wafer seasoning [1] 2686
386 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2669
385 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2657
384 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2581
383 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2566
382 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2564
381 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2563
380 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2550
379 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2540
378 질문있습니다. [1] 2509
377 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2434
376 Si Wafer Broken [2] 2431
375 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2412
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