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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
439 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3111
438 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 3029
437 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2985
436 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2979
435 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2943
434 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2907
433 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2904
432 임피던스 매칭회로 [1] file 2884
431 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2785
430 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2763
429 PR wafer seasoning [1] 2740
428 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2734
427 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2726
426 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2651
425 Si Wafer Broken [2] 2631
424 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2624
423 질문있습니다. [1] 2621
422 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2612
421 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2575
420 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2570
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