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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66845
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88306
319 Si Wafer Broken [2] 2122
318 Wafer particle 성분 분석 [1] 2106
317 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2099
316 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2078
315 플라즈마볼 제작시 [1] file 2072
314 CVD 공정에서의 self bias [1] 2062
313 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2062
312 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2031
311 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1997
310 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1964
309 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1959
308 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1903
307 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1902
306 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1874
305 etching에 관한 질문입니다. [1] 1860
304 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1854
303 가입인사드립니다. [1] 1845
302 chamber impedance [1] 1844
301 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1841
300 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1836
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