Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:2016

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76886
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20282
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57200
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92712
379 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2287
378 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2275
377 etching에 관한 질문입니다. [1] 2274
376 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2265
375 플라즈마볼 제작시 [1] file 2250
374 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2250
373 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2247
372 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2179
371 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2150
370 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2145
369 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2097
368 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2083
367 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2083
366 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2074
365 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2034
364 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 2023
363 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 2022
» chamber impedance [1] 2016
361 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2015
360 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1990

Boards


XE Login