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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68662
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346 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1946
345 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1936
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342 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1910
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338 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1889
337 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1884
336 가입인사드립니다. [1] 1880
335 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1866
334 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1855
333 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1836
332 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1834
331 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1832
330 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1826
329 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1824
328 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1801

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