matcher를 봤을 때 직렬은 tune 병렬은 load라 튠값으로는 리액턴스를 로드 값으로는 저항성분에 대해 알 수 있다고 알고 있는데요

가끔 로드랑 튠 값이 흔들리고 산포가 좋지 않을 때가 있다합니다. 이렇게 값들이 흔들리는 이유로는 전체적으로 뭐가 있을까요?

또 plasma를 켰을 떄 매쳐의 로드와 튠 값에 영향을 주는 이자들은 무엇들이 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76866
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20271
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57198
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68750
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92691
357 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1982
356 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1973
355 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1973
354 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1960
353 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1960
352 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1957
351 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1940
350 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1927
349 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1926
348 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1920
347 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1904
346 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1903
345 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1896
344 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1882
343 가입인사드립니다. [1] 1880
342 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1876
341 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1875
340 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1864
339 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1858
338 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1845

Boards


XE Login