ICP Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여

2018.12.21 07:56

정용진 조회 수:1661

안녕하세요, dusty 플라즈마를 활용해서 나노소재를 만드는 연구를 하는 한 학생입니다.


플라즈마 electron density 를 증가하고자 CCP 에서 ICP 로 바꿔서 실험을 진행하고 있는데요,


Ar gas 만 흘럿을때는 매우 아름다운 ICP 효과를 얻을 수 있는데,

O2 gas 를 넣는 순간 ICP 효과가 사라집니다.


튜브 사이즈는 직경 2인치이고, power 는 200 W 정도 인가하였는데 

매칭박스의 매칭이 잘 되지는 않습니다. 


주로 CCP 만 사용하다가 ICP 를 사용하게 되어 매칭박스에 관해 지식이 짧은데,

혹시 ICP 를 사용할때는 이 모드에 맞게 매칭박스를 바꾸어야 하는지요?


감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76736
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
349 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1963
348 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1955
347 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1955
346 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1950
345 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1944
344 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1937
343 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1914
342 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1912
341 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1908
340 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1900
339 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1895
338 가입인사드립니다. [1] 1880
337 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1871
336 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1865
335 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1861
334 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1850
333 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1849
332 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1849
331 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1843
330 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1811
쓰기
태그

Boards

XE Login