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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65696
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246 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1322
245 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1315
244 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1311
243 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1308
242 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1308
241 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1303
240 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1296
239 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1294
238 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1291
237 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1287
236 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1278
235 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1270
234 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1268
233 Ar plasma power/time [1] 1266
232 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1265
231 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1261
230 doping type에 따른 ER 차이 [1] 1260
229 MATCHER 발열 문제 [3] 1250
228 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1240
227 charge effect에 대해 [2] 1240
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