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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76697
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20153
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68681
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92220
307 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1507
306 plasma 형성 관계 [1] 1503
305 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1502
304 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1502
303 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1490
302 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1477
301 charge effect에 대해 [2] 1463
300 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1463
299 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1462
298 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1457
297 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1455
296 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1452
295 알고싶습니다 [1] 1450
294 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1443
293 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1443
292 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1440
291 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1439
290 Ar plasma power/time [1] 1435
289 ICP lower power 와 RF bias [1] 1429
288 MATCHER 발열 문제 [3] 1429

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