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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65739
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227 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1247
226 charge effect에 대해 [2] 1242
225 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1238
224 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1232
223 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1219
222 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1216
221 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1202
220 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1192
219 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1184
218 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1178
217 플라즈마 기초입니다 [1] 1149
216 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1126
215 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1115
214 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1110
213 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1107
212 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1102
211 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1090
210 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1085
209 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1079
208 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1078

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